奧林巴斯激光共焦顯微鏡采用了較佳光學(xué)系統(tǒng)，可通過非破壞觀察法生成高畫質(zhì)的圖像并進(jìn)行3D測量。其準(zhǔn)備操作也非常簡單且無需對樣本進(jìn)行預(yù)先處理。
具有高精度和光學(xué)性能的LEXT?OLS5100激光掃描顯微鏡配備了讓系統(tǒng)更加易于使用的智能工具。其能夠快速完成亞微米級形貌和表面粗糙度的測量任務(wù)，既簡化了工作流程又能讓您獲得可信賴的***數(shù)據(jù)。
LEXT? OLS5100 3D激光掃描顯微鏡
用于材料分析的激光顯微鏡
更智能的工作流程，更快速的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)
適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將測量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合，讓顯微鏡更加方便使用。通過快速JQ測量亞微米級形狀和表面粗糙度的可靠數(shù)據(jù)簡化您的工作流程。
LEXT顯微鏡物鏡可提供高度準(zhǔn)確的測量數(shù)據(jù)。與智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）搭配使用，就可獲得可靠的高精度數(shù)據(jù)。
較高測量準(zhǔn)確度*
奧林巴斯享譽(yù)世界的光學(xué)器件能夠以更低像差在整個(gè)視場中捕捉樣品的真實(shí)形貌
智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）還可幫助您選擇合適的物鏡進(jìn)行粗糙度測量
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡型號：
★OLS5100-SAF
100毫米電動(dòng)載物臺
Z大樣品高度：100 mm (3.9 in.)
★OLS5100-EAF
100毫米電動(dòng)載物臺
Z大樣品高度：210 mm (8.3 in.)
★OLS5100-SMF
100毫米電動(dòng)載物臺
Z大樣品高度：40 mm (1.6 in.)
★OLS5100-LAF
300毫米電動(dòng)載物臺
Z大樣品高度：37 mm （1.5 in.）
LEXT?OLS5100激光共聚焦顯微鏡主機(jī)技術(shù)參數(shù)：
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型號 |
OLS5100-SAF |
OLS5100-SMF |
OLS5100-LAF |
OLS5100-EAF |
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總倍率 |
54x–17,280x |
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視場 |
16 μm–5,120 μm |
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測量原理 |
光學(xué)系統(tǒng) |
反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 |
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光接收元件 |
激光：光電倍增管（2通道） |
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高度測量 |
顯示分辨率 |
0.5 nm |
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動(dòng)態(tài)范圍 |
16位 |
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重復(fù)性σn -1*1 *2 *5 |
5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X：0.03 μm, 50X：0.012 μm, 100X：0.012 μm |
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準(zhǔn)確度*1 *3 *5 |
0.15 + L / 100μm（L：測量長度[μm]） |
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拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5 |
10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm]) |
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測量噪聲（Sq噪聲）*1 *4 *5 |
1 nm（典型值） |
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寬度測量 |
顯示分辨率 |
1 nm |
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重復(fù)性3σn-1 *1 *2 *5 |
5X：0.4 μm, 10X：0.2 μm, 20X：0.05 μm, 50X：0.04 μm, 100X：0.02 μm |
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準(zhǔn)確度*1 *3 *5 |
測量值+/- 1.5% |
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拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5 |
10X：24+0.5L μm, 20X：15+0.5L μm, 50X：9+0.5L μm, 100X：7+0.5L μm (L：拼接長度[mm]） |
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單次測量時(shí)Z大測量點(diǎn)數(shù)量 |
4096 × 4096像素 |
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Z大測量點(diǎn)數(shù)量 |
3600萬像素 |
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XY載物臺配置 |
長度測量模塊 |
? |
不適用 |
不適用 |
? |
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工作范圍 |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng) |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動(dòng) |
300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動(dòng) |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng) |
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Z大樣品高度 |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) |
30 mm (1.2 in.) |
30 mm (1.2 in.) |
210 mm (8.3 in.) |
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激光光源 |
波長 |
405 nm |
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Z大輸出 |
0.95 mW |
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激光等級 |
2級（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014） |
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彩色光源 |
白光LED |
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電氣功率 |
240 W |
240 W |
278 W |
240 W |
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質(zhì)量 |
顯微鏡主體 |
約 31 kg |
約 32 kg |
約 50 kg |
約 43 kg |
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控制箱 |
約 12 kg |
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*1 在ISO554(1976)、JIS
Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時(shí)提供**（溫度：20?C±1?C，濕度：50％±10%），如ISO554（1976）、JIS Z-8703（1983）所規(guī)定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物鏡測量時(shí)倍率20x或更高。
*3 在使用專用LEXT物鏡測量時(shí)。
*4使用MPLAPON100XLEXT物鏡測量時(shí)的典型值。
*5 基于奧林巴斯認(rèn)證系統(tǒng)下的**。
